產品資訊
Products
氣體質量流量計／控制器
氣體質量流量計／質量流量控制器（MFM／MFC）
子嘉企業代理 Alicat 質量流量計（Mass Flow Meter, MFM）與質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。採層流壓差原理，不需熱機、反應時間快，內建多種氣體選擇，量程從 0.0025 SCCM 到 5000 SLPM。適用於半導體製程氣體、混氣、燃料電池與電解槽測試、實驗室與校正。
| 需求 | 建議類型 |
|---|---|
| 只要量測、記錄流量 | 質量流量計 MFM |
| 要自動控制到設定流量 | 質量流量控制器 MFC |
| 真空或低壓端供氣 | 真空用 MFC，或搭配壓力控制器 |
| 腐蝕性氣體 | 耐腐蝕版本（請告知氣體種類協助選型） |
| 液體流量 | 液體流量計或科里奧質量流量計 |
常見問題
- 質量流量控制器的原理是什麼？ 內部感測器量測流量，控制電路把量測值和設定值比較後，即時調整控制閥開度，讓流量維持在設定值。
- MFC 和 MFM 差在哪？ MFM 只量測；MFC 多了控制閥與控制迴路，可以自動調節流量。
- SCCM、SLPM 是什麼？ 標準狀態下每分鐘的立方公分（SCCM）或公升（SLPM），代表的是質量流量。
需要選型建議？請來電 (02)2292-0001、(07)281-4799，或寫信至 sales@sinom.com.tw。延伸閱讀：質量流量計應用、多種氣體混合配氣、薄膜沉積氣體控制、MFM／MFC 原理與選型。
