氣體質量流量計（MFM, Mass Flow Meter）

質量流量計直接量測氣體的質量流量（以 sccm、SLPM 等標準狀態單位表示），不受管線壓力與溫度變化影響。子嘉提供 Alicat 層流差壓式質量流量計（同時顯示壓力、溫度、體積與質量流量，內建多種氣體）、高壓型、攜帶式，以及經濟型、管道式與插入式熱質式流量計，適用製程氣體監測、洩漏測試、壓縮空氣計量與流量校正。

選型說明：MFM／MFC 原理與選型　｜　需要自動控制流量請見 質量流量控制器　｜　詢價 (02)2292-0001