工作原理圖解：MPS 微流體壓力感測器

圖左：搭配 OB1（監測＋控制）；圖右：搭配 MSR 讀取器（僅監測）

• 用途：串在晶片入口或出口，量測流道中液體的實際壓力，可回授給 OB1 控制，或以 MSR 讀取器記錄。
• 量程：MPS 0：±70 mbar；MPS 1：±340 mbar；MPS 2：-1~1 bar；MPS 3：-1~2 bar；MPS 4：-1~7 bar（表壓，正負壓皆可量）。
• 精度：最佳 ±0.5% 滿量程（液體）；重複性與遲滯最佳 ±0.2%。

圖：Large 封裝（左，3/32 倒鉤）與 Small 封裝（右，10-32 螺紋＋套圈）

• Large：內部容積 70 µL；3/32" ID 軟管；接液 PEI、矽、氟矽膠。
• Small：內部容積 7.5 µL；1/16" OD 管；接液 PEEK、矽、氟矽膠，適合死體積要求高的應用。
• 相關型號：MPS Small｜MPS Large