- 流量範圍:0.1 g/h ~ 200 g/h或1 g/h ~ 2000 g/h或30 g/h ~ 30000 g/h
- 精度:0.2 %~2%(液體);0.5 %(氣體)
- 接頭:UNF 1/4-28或SwageLok
- 與所有液體、氣體相容,例如:水、油、酒精…等
- 應用:半導體製程、太陽能電池、食品和製藥行業、醫用微量化學或分析裝置、校正實驗室…等
工作原理圖解:BFS 科里奧(Coriolis)流量計
圖左:搭配 OB1(監測+控制);圖右:搭配外部設備(如幫浦)僅做監測,USB 直接連電腦
- 量測原理:液體流經振動的細管,科里奧力造成管子扭轉,扭轉量正比於質量流量,與液體種類、黏度、導熱性無關,不需針對液體重新校正,也可量密度與溫度。
- 流量範圍:BFS 1/1+:0.1~200 g/h(水約 1.6 µL/min~3.3 mL/min);BFS 2:1~2,000 g/h;BFS 3:30~30,000 g/h(最高約 500 mL/min)。
- 精度:液體質量流量最佳 ±0.2% 讀值(BFS 1 為 ±2%);重複性 ±0.05% 讀值;反應時間 35 ms(t98)。
- 機構:接液 316L 不鏽鋼、耐壓 200 bar、內部容積 13 µL 起;1/16" 管;每支附個別校正證書。
- 安裝:需固定在堅固、重的底座上,避免外部振動與撞擊。
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